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株式会社ジェーイーエル

印刷用ページを表示する掲載日2019年3月26日

基板保持装置(噴流ベルヌーイハンド)

 

事業所所在地

〒720-0831 広島県福山市草戸町2-8-20

電話番号

電話:(084)932-6500  ファクス:(084)932-6501

本社所在地

〒720-0835 広島県福山市草戸町2-8-20

ホームページ  URL

http://www.jel-robot.co.jp

 

 

製品・技術

基板保持装置(オンリーワン)

基板保持装置

 

製品・技術の特徴

供給ポートから導入されたエアがノズルから噴き出され、ハンドとウェーハ間に負圧を発生させます。ハンドをデュフューザーとしての効果が得られる形状とすることで噴射部から離れてもウェーハの吊り下げ効果が弱まらないことを特徴としています。

開発のきっかけ

近年、半導体デバイスメーカー各社では、効率化のためシリコンウェーハの薄膜化を進めています。そのため、繊細な薄物ウェーハに対応した低価格ハンドのニーズも高まっています。当技術を利用すればウェーハを低ストレスで保持することが可能となり、ウェーハへのダメージを最小限とできることから開発しました。

開発・製品化における
苦労と努力

気流を利用するため、可視化装置(霧を発生させて流れを見る)を利用して開発を行いました。また噴射部に発生した負圧が噴射部から離れると弱まりますが、ハンド形状の工夫で広範囲に負圧を発生する事に成功しました。

製品・技術の主な取引先

半導体デバイスメーカー各社

特記事項

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