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アテル 株式会社

印刷用ページを表示する掲載日2011年12月1日

半導体等精密機器の開発・設計・製造・販売,電子回路の研究開発・設計・製造・販売

 

 

事業所所在地

〒720-0823 広島県福山市千代田町一丁目13番31号
電話番号

電話:(084)971-7010  ファクス:(084)953-5330

本社所在地

〒720-0823 広島県福山市千代田町一丁目13番31号

ホームページ  URL

http://www.atel-corp.co.jp

 

 

製品・技術 卓上クリーンロボット(Aロボ)及び卓上型搬送装置,検査装置(オンリーワン)

時代に先駆けた製品を目指した,卓上クリーンロボット,卓上型クリーン搬送システム。

製品の画像

卓上クリーンロボット及び卓上搬送装置

製品・技術の特徴

LED・Mems・太陽電池等の生産工程で使用可能な超小型軽量,低価格な卓上搬送システム。稼動する際のちりやほこりの発生を極限まで抑える事に加え,従来の機能と性能を備えた革新的な製品。卓上型搬送装置「AiS(あいす)」はAロボを中心に,卓上型の周辺機器を取込むシステムである。適応範囲は2~8インチウェハまで対応し,顕微鏡などへのウェハローディング,ソータ,小型製造装置の自動化など様々な場面で効果を発揮できる。
使用されるユニットはシングルアームの他にウェハ交換を素早く行うことが可能なダブルアームをはじめ,オプションとしてウェハマッピングセンサ,ウェハ反転ユニットとチャックも数多く揃えている。周辺機器ではウェハのセンタリングとオリフラ又はノッチ合わせを行うアライメントユニットをサイズ別に3タイプ準備し,ウェハ材質もシリコーン,ガリヒ素,透明基板などに対応している。照明観察ユニットはウェハ表面に照明を当て傷の確認をすることができる。軸を自由に動作させることができるジョイスティック,XYΘ精密顕微鏡ステージなど各種取り揃え,数種の操作BOXも準備している。これらの商品群の中から必要な機能のみを選択し,従来と同様のシステムを卓上で簡単に構築することができる。

開発のきっかけ 同時不況後,半導体業界はメモリーを中心に市場が縮小する中,LEDや太陽電池業界が躍進するようになったことを受け,同業界でも使用可能な製品として開発。
開発・製品化における
苦労と努力
従来の製品とは違い,大半の部品を板金(90%以上)と市販品で構築し,従来の機能と性能を実現すること。
製品・技術の主な取引先 大手電気メーカー
特記事項 アテル株式会社はお客様のニーズにお答えできることができるよう,常に開発に取り組んでいます。我々は搬送機器のプロ集団として質の高い新技術を提供します。我々はお客様に100%ご満足いただける製品と時代に先駆けた製品を生み出します。

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