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ローツェ 株式会社

印刷用ページを表示する掲載日2019年3月29日

半導体・FPDパネル製造用搬送装置開発・製造・販売
ライフサイエンス関連装置開発・製造・販売

 

 

事業所所在地

〒720-2104 広島県福山市神辺町道上1588-2

電話番号

電話:(084)960-0001  ファクス:(084)960-0200

本社所在地

〒720-2104 広島県福山市神辺町道上1588-2

ホームページ  URL

http://www.rorze.com

 

 

製品・技術

局所パージ技術を応用したスマートパージシステム
・N2パージ対応EFEM
・N2パージ対応ウエハソータ
・N2パージ対応ウエハストッカ

半導体業界支え世界トップクラス!!

製品の写真

(初期のベストセラー機)
“大気用ウエハ搬送クリーンロボット”

 

製品・技術の特徴

搬送中のウエハ周囲だけを少量のN2ガス(窒素ガス)で覆う「局所パージ技術」により,少ないN2ガス消費でウエハを不要な酸化膜形成から保護することができる。
超微細化が進む半導体の性能・生産歩留まりの向上に貢献している。

開発のきっかけ

半導体製品の高機能化はウエハに作りこむ電子回路の超微細化をもたらし,大気中の酸素が形成する不要な酸化膜が性能・生産歩留まりに影響するようになった。
これを防ぐには窒素ガスなどの不活性ガスを搬送装置の内部全体に充満させる方法があるが,大掛かりで不経済である。そこで当社では,半導体ウエハの移動経路上でウエハの被処理面を局所的に不活性ガス雰囲気に置換することができる技術(局所パージ技術)を開発した。

開発・製品化における
苦労と努力

従来のように装置全体を不活性ガスで満たす方法とは違い,ウエハの周囲だけを不活性ガスで満たす場合では,均一な不活性ガス雰囲気を作ることが難しかった。均一な不活性ガス雰囲気を得るため,噴出ノズルの形状やカバー形状のシミュレーションを行い,それに基づく施策と実験を繰り返した。
その他では,装置をコンパクトにしながら高速動作を実現するため,ロボットの動作をこれまで以上に細かく最適化する必要があった。

製品・技術の主な取引先

国内外の半導体デバイスメーカー・半導体製造装置メーカー,ガラス基板・FPDパネルメーカーなど

特記事項

世界の半導体工場・FPDパネル工場の自動化と無塵化を担う。

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