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大宮工業 株式会社

印刷用ページを表示する掲載日2011年12月1日

半導体関連機器製造など

 

 

事業所所在地

〒721-0926 広島県福山市大門町5-6-45

電話番号

電話:(084)941-2616  ファクス:(084)943-2016

本社所在地

〒721-0926 広島県福山市大門町5-6-45

ホームページ  URL

http://www.okksg.co.jp/index.html

 

 

製品・技術

自動バランス補正装置つき
ウエハ乾燥用スピンドライヤー(オンリーワン)

発塵も振動もきわめて少ない
最新鋭回転乾燥機!!

製品の写真

“スピンドライヤー”

製品・技術の特徴

・ウエハの製造ラインにおける乾燥工程を担う装置
・発塵原因を徹底的に排除した高性能回転乾燥機
・ウエハの枚数が不ぞろいでも,自動でバランス補正して回転させる,オリジナル自動バランサーを搭載
・新世代12インチウエハにも対応済み

開発のきっかけ

従来の回転乾燥機は,振動によりウエハの破損を余儀なくされていた。
弊社のバランシング技術によりこの問題を解決できるとともに更なる高性能化を図れると判断し,客先の強い要望もあり開発に踏み切った。

開発・製品化における
苦労と努力

乾燥装置に自動バランス補正装置を装着することは,従来なかった発想でありその実現には多大な時間と労力を費やしたが,特許として結実。
この技術が認められ,国内外で多数採用されている。
近年は,更なる高機能を求められ,日々その期待にこたえるべく奮闘している。

製品・技術の主な取引先

国内外の半導体メーカー,半導体製造装置メーカー

特記事項

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