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ひろしま産学共同研究拠点/光電子分光装置(ESCA)

印刷用ページを表示する掲載日2017年11月7日

機能
 材料の表面分析やスパッタイオン銃による深さ方向の定性定量分析等が可能です。
  磁気的なレンズの採用により光電子の取り込み効率が大幅にアップし,感度の向上,測定時間の短縮が図れます。

メーカ
 サーモフィッシャーサイエンティフィック社

形式
 ESCA LAB220i-XL

設備利用料金
 8,100円(1時間) 〔職員が代行操作する場合は別途3,700円(1時間)必要〕

仕様
型式ESCA LAB220i-XL
微小領域感度400cps(空間分解能20μm:エネルギー分解能≦0.50eV)
イメージ測定方式ダイレクトリアルタイム方式(投影方式)
測定可能な試料10mm×10mm,厚さ5mm以内
サンプルステージモノクロメータ,XLレンズ,イオン銃,帯電中和銃

外観
ESCA

利用事例
化学結合状態積層膜の組成変化
Arエッチングにより深さ方向の化学結合状態の変化を調べることができます。 Arエッチングによる深さ方向分析により,積層膜の組成変化を知ることができます。
He線源 ガスセル
価電子帯の情報が得られるUPS(紫外分光分析)が可能なHe線源が付属しています。 ガスセルによりin-situで酸化・還元処理を行い,表面分析が可能です。

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