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生産技術アカデミー/評価部門設備/走査型電子顕微鏡

印刷用ページを表示する 掲載日:2017年9月28日更新

機能
 機械器具や電子部品などの微細構造を観察します。

  メーカ
 (株)日立製作所

形式
 S-3000N (2000年度導入)

設備利用料金
 1,800円(1時間) 〔職員が代行操作する場合は別途3,700円(1時間)必要〕

仕様
×15~×300,000(65段)

加速電圧

0.3~30kV(1171段)

分解能

高真空 3.5 nm
低真空 4.5 nm

最大試料サイズ

直径 150 mm

試料可動範囲

X:100 × Y:50 × Z:5~40 mm
傾斜 0~60° 回転 360°

観察画像

2次電子像,反射電子像(凹凸,組成,3次元),X線分析マッピング像

X線分析装置

EDAX Falcon Super UTW

測定可能元素

ベリリウム(4Be)~ウラン(92U)

外観
走査型電子顕微鏡外観

観察例
観察例写真


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