生産技術アカデミー／評価部門設備／走査型電子顕微鏡
印刷用ページを表示する掲載日2023年4月4日
機能
機械器具や電子部品などの微細構造を観察します。
メーカ
（株）日立製作所
形式
S-3000N （2000年度導入）
設備利用料金
1,800円（１時間） 〔職員が代行操作する場合は別途3,900円（１時間）必要〕
仕様
| ×15～×300,000（65段） | |
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加速電圧 |
0.3～30kV（1171段） |
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分解能 |
高真空 3.5 nm 低真空 4.5 nm |
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最大試料サイズ |
直径 150 mm |
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試料可動範囲 |
X:100 × Y:50 × Z:5～40 mm 傾斜 0～60° 回転 360° |
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観察画像 |
2次電子像，反射電子像（凹凸，組成，3次元），X線分析マッピング像 |
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X線分析装置 |
EDAX Falcon Super UTW |
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測定可能元素 |
ベリリウム（4Be）～ウラン（92U） |
外観
観察例
